در دستگاه هواساز از چندین لایه فیلتر استفاده می‌شود که عملکرد آنها به صورت زیر است:
برای تصفیۀ ذرات درشت تر از فیلترهای فلزی که قابلیت شستشو دارند استفاده می‌شود. در مراحل بعدی از فیلترهای هپا و اولپا که از جنس بوروسیلیکات و به ترتیب دارای قدرت جذب ذرات تا ۳/. میکرون و ۱۲/۰ میکرون هستند استفاده می‌شود.